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大日本印刷、2ナノメートル世代のロジック半導体向けフォトマスク製造プロセスの開発を本格的に開始
大日本印刷株式会社（本社 : 東京 代表取締役社長 : 北島義斉 以下 : DNP）は、半導体製造の最先端プロセスのEUV（Extreme Ultra-Violet : 極端紫外線）リソグラフィに対応した、2ナノメートル（nm : 10-9m）世代のロジック半導体向けフォトマスク製造プロセスの開発を本格的に開始しました。
【開発の背景と概要】
近年、最先端のロジック半導体ではEUV光源を用いるEUVリソグラフィによる生産が進んでいます。DNPは、2016年にフォトマスク専業メーカーとして世界で初めてマルチ電子ビームマスク描画装置を導入するなど（＊2）、高い生産性と品質を備えた先端領域の半導体製造の対応を強化してきました。2023年には、3ナノメートル世代のEUVリソグラフィ向けフォトマスク製造プロセスの開発を完了（＊3）し、2ナノメートル世代の開発を開始しました。
今回さらなる微細化のニーズに応え、2024年度中には、2台目と3台目のマルチ電子ビームマスク描画装置を稼働させるなど、2ナノメートル世代のEUVリソグラフィ向けフォトマスク製造プロセスの開発を、本格化していきます。
大日本印刷公式
2024年3月27日
2ナノメートル世代のEUVリソグラフィ向けフォトマスク製造プロセス開発を加速
https://www.dnp.co.jp/news/detail/20173719_1587.html
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大日本印刷、ラピダス向け半導体部材 国内に先端供給網 – 日本経済新聞 https://t.co/kwggRAE85j
— いまおか (@imaoka334) March 27, 2024
いまおか@imaoka334
大日本印刷は最先端半導体の国産化を目指すラピダス向けに回路形成に使う原版「フォトマスク」を2027年度に国内で量産する。TOPPANホールディングス（HD）も最先端のフォトマスクを開発する。国内で最先端の半導体部材のサプライチェーン（供給網）づくりが広がり始めた。
いまおか@imaoka334
ラピダスは新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）から受託した「ポスト5G情報通信システム基盤強化研究開発事業」の一環として回路線幅が2ナノ（ナノは10億分の1）メートルのロジック（頭脳）半導体の開発を進めている。大日本印刷は今回、同事業の再委託先として参画した。
いまおか@imaoka334
大日本印刷が開発・量産するのは2ナノ品向けのフォトマスクとなる。フォトマスクは半導体の基板であるシリコンウエハーに回路を形成する露光工程で使う。露光は半導体製造の重要工程の一つで、回路の形状が描かれたフォトマスクを通してウエハーに特殊な光を照射し、回路を焼き込む。
いまおか@imaoka334
24年度中にフォトマスクに微細な回路の形状を描く専用装置を国内工場に2台導入する。開発強化に向けた専用装置の導入などで、まずは総額500億円規模を投じるとみられる。フォトマスクの主力拠点である上福岡工場（埼玉県ふじみ野市）などで27年度に2ナノ品向けに量産を始める。
いまおか@imaoka334
2ナノ品向けのフォトマスクはTOPPANHDも米IBMと組んで開発中で、26年の量産開始を目指す。供給先はラピダスとみられる。
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半導体は回路線幅が細くなるほど性能が高まる。実用化されているものでは3ナノ品が最先端だ。台湾積体電路製造（TSMC）と韓国のサムスン電子だけが製造しており、フォトマスクは内製している。ほかの先端半導体用のフォトマスクも多くは半導体メーカーが内製している。
いまおか@imaoka334
フォトマスクを外部に販売するメーカーとしては大日本印刷とTOPPANHDに加え、米フォトロニクスやHOYAなどがある。外販されているものでは3ナノ品が最も細いとされる。ラピダスが2ナノ品を生産するには対応するフォトマスクを確保する必要があった。
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最先端半導体の供給網を国内で実現するため、フォトマスク以外でもラピダス向け部材の投資が活発になり始めた。大陽日酸は新工場（北海道千歳市）内に産業ガス供給用の設備をつくり、25年からラピダスの試作ラインに供給する。
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回路を形成する際に使うフォトレジスト（感光剤）を手掛ける日本企業もラピダスの2ナノ品向けの提供を検討している。東京応化工業は「（ラピダスなど）顧客と既に話し合いが始まった」とし、JSRや信越化学工業もラピダスと納入に向けて協議している。
いまおか@imaoka334
海外の半導体製造装置メーカーでは、米アプライドマテリアルズやラムリサーチは北海道にラピダスの支援拠点を設置する予定だ。オランダの露光装置メーカーのASMLホールディングは北海道に技術支援拠点の設置を検討している。
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国は「半導体・デジタル産業戦略」で、日本で先端半導体の製造基盤を確保する方針を掲げる。ラピダスは国の支援を受け、北海道千歳市に工場を新設し、27年に2ナノのロジック半導体の生産を始める計画。
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先端半導体の確保と並行し、製造装置・部材の国内供給網の強靱（きょうじん）化も進めたい考え。ラピダスの投資が最先端の製造装置や部材の投資につながるかどうかが課題となる。
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北海道経済連合会（道経連）などが設立した北海道新産業創造機構（ANIC、札幌市）は、ラピダスによる最先端半導体工場の進出に伴う北海道における経済波及効果が36年度までの累計で最大18兆8000億円に達すると試算している。
なんだか夢があるなあ
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